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Rudolph、Avagoから自動検査装置を受注

February 7, 2011, Flanders--ルドルフ・テクノロジー(Rudolph Technologies, Inc)は、シンガポールのアバゴテクノロジー(Avago Technologies Manufacturing Pte. Ltd)からNSXシリーズを受注した。
アバゴは、NSXシステムをシンガポールの先端オプトエレクトロニクスデバイスウエフア製造サイトでフロントエンド検査に使用する。アバゴのシンガポール工場では、業界トップクラスの高速VCSEL、ディテクタ、LEDを製造している。
NSX自動マクロ欠陥検査システムは、計測と検査データの両方を提供するもので、アバゴのプロセス歩留まり向上支援で中核的な役割を果たすことになる。Q1に出荷予定の同システムは、アバゴからの2台目の受注。最初のNSXシステムは、2010年Q4に出荷している。今後、バックエンドアプリケーションの自動検査拡張のための追加受注も見込まれている。
アバゴのオプトエレクトロニクスデバイスオペレーション担当ワールドワイドディレクタ、Tom White氏によると、アバゴは生産量の拡大に伴い歩留まり改善への注力を強めようとしており、「NSXシステムによって、当社の検査工程の信頼性と再現性、運用の効率が改善される」と同氏は話している。

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