Laser Focus World JAPAN　レーザーフォーカスワールドジャパン

October 26, 2010, サンノゼ--ウルトラテック(Ultratech, Inc)は、アジアの大手ファンドリがレーザスパイクアニール(LSA)のマルチシステムを追加発注してきたと発表した。
　ウルトラテックは、半導体デバイスやHB-LEDの製造に用いるリソグラフィやレーザ加工システムの大手サプライヤ。同社のLSA100Aは、発注してきたファンドリの45nm生産立ち上げに使用される。LSA100Aシステムは、ウルトラテックのカスタマイズ可能Unity Platformをベースにしており、所有コスト(CoO)、歩留まりにマイナスの影響を与えることなく多様な製品タイプ加工に柔軟に対応できるなどの利点がある。同システムの出荷は2010年Q4の予定。
　ウルトラテックのLSAシステムは主要ロジックファンドリのすべてが導入しており、最先端のアニーリングアプリケーションとしてはファンドリの選好ツールとなっている。LSA技術の採用が続いているのは、スマートフォン、PC、タブレットなどのコンシューマ機器需要が原動力となっていると見られている。今日のコンシューマ機器は小型・高機能化が進み、バッテリ寿命の拡大、漏出量の抑制が緊要になっていることから、このトレンドは続くとウルトラテックは期待している。