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OIPT、次世代HB-LEDバッチ製造装置
October 21, 2010, Abingdon--オクスフォード・インスツルメンツ・プラズマテクノロジー(OIPT)は、PlasmaPro NGP1000レンジ HBLEDプラズマエッチ・成長装置を発売した。
同装置についてOIPTは、「バッチサイズ61×2”から7×6”ウエハに対応した業界最先端のスループット、高品質のデバイスパフォーマンスと歩留まりを持ち、HB-LEDメーカーに大きな利益をもたらす装置である」と説明している。
NGP1000レンジは、ハードウエアの高信頼と使いやすさによってスループット強化、アップタイム最大化、所有コスト削減を目指した設計になっている。同プラットフォームは、真空ロードロックを標準としており、バッチ製造に最適化されている。オープンロード、4サイドクラスタオプションも用意されている。
OIPTの販売ディレクタ、Mark Vosloo氏は、高輝度LED市場と業界の要求について、「HB-LEDは、今やわれわれの生活の不可欠の一部となっている。照明ソリューションでは、テレビのバックライトから一般照明まで、アプリケーションの数が増えている。当然のことながら、業界は高スループット、デバイス品質、低所有コストを要求しており、NGP1000はこれらすべてに対するソリューションとなる」とコメントしている。
(詳細は、www.oxinst.com)
同装置についてOIPTは、「バッチサイズ61×2”から7×6”ウエハに対応した業界最先端のスループット、高品質のデバイスパフォーマンスと歩留まりを持ち、HB-LEDメーカーに大きな利益をもたらす装置である」と説明している。
NGP1000レンジは、ハードウエアの高信頼と使いやすさによってスループット強化、アップタイム最大化、所有コスト削減を目指した設計になっている。同プラットフォームは、真空ロードロックを標準としており、バッチ製造に最適化されている。オープンロード、4サイドクラスタオプションも用意されている。
OIPTの販売ディレクタ、Mark Vosloo氏は、高輝度LED市場と業界の要求について、「HB-LEDは、今やわれわれの生活の不可欠の一部となっている。照明ソリューションでは、テレビのバックライトから一般照明まで、アプリケーションの数が増えている。当然のことながら、業界は高スループット、デバイス品質、低所有コストを要求しており、NGP1000はこれらすべてに対するソリューションとなる」とコメントしている。
(詳細は、www.oxinst.com)
