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新しいポーラスシリコン微細加工技術によりセンシング能力向上

October, 6, 2014, Atalanta--ジョージア工科大学の研究チームは、液体中の生化学およびその他の分子検出に使われるシリコンベースセンサの新たな改善法を開発した。
 この簡素化されたアプローチにより、マイクロスケール光学検出デバイスが他のデザインよりも安価になり、ターゲット分子に対する感度が6倍向上する。
 新しい技術は、ポーラスシリコン材料薄膜を使用して導光濃厚シリコン層をコーティングする。このポーラスシリコン薄膜は、多くの接続された孔と内壁面を有しており、化学成分、つまり分析物が結合する実効面積が非常に大きくなっている。この内壁面の増加により、ポーラスシリコンが捉えられる分析対象の分子数が大きくなり、したがって全般的に検出感度が向上し、低濃度分析物の検出が容易になる。
 従来のポーラスシリコン製法と異なり、ジョージアテック薄膜プロセスは標準SOI基板とともに使用できるように最適化されており、またポーラスシリコン層の厚さも高精度制御できる。