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大手VCSELメーカーが、ClassOne Plating Systemを選定

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June, 11, 2018, Kalispell--半導体装置メーカー、ClassOne Technologyは、同社のSolstice Electroplating Systems(電気メッキシステム)を業界大手のVCSELプロバイダーに先頃販売したと発表した。
 ClassOneグループCEO,Byron Exarcosは、「これは重要なトレンドである。VCSEL製造能力の前例のない要求がある。これは、3Dセンシング、光通信、レーザベース材料加工のサポートが目的だ」とコメントしている。さらに同氏は、「化合物半導体メーカーは、製造をウエットベンチから自動化されたシングルウエファプレーティングに移行させようとしている。当社のSolstice販売の力強い好転は、これを反映している。Solsticeは、業界トップの均一性とスループットで最先端の自動化と制御性を提供する。競合製品の1/2のコストでSolsticeは、小型基板を利用するメーカーにとっては最適なプラットフォームとなる」と説明している。
 ClassOneは、独自の高性能Solstice処理チャンバをいくつも開発してきた。これらは特に、金、ニッケル、銅などの材料を使い高速、高品質の経費節減メッキを必要としているVCSELメーカーが関心を寄せているものである。
 「化合物半導体メーカーは最大限の柔軟性を求めている」とExarcosは説明する。「彼らは、Solsticeが多数のウエファサイズを同時に走らせること、同プラットフォームが、電気メッキ以上に広範なウエットプロセス向けに設定可能であることが気に入っている。これらは、メタルリフトオフ、レジストストリップ、ゴールドディプレート、UBM Etch、KOH Etch、アノダイジング(陽極処理)などを含む。これらすべてが、単一の自動プラットフォームからのものである。われわれはこれをPlating-Plusと呼んでいる。したがって、追加の下流工作機を購入する必要がなくなる」。
 Exarcosは、システム性能に加えて、VCSELメーカーがSolsticeの並外れた低価格に惹かれている点を強調している。≤200mm Solsticeシステムは、大手装置メーカーの類似の300㎜システムのコストの約半分である。
 Solsticeは、一群の電メッキ工作機であり、これにはS8とS4が含まれる。これらは8-および4-チャンバシステムで、スループットは最大75wphが可能。多重ウエットプロセスチャンバにより、装置は多重プロセスを制御して同時に行うことができる。ClassOneは、特にプロセス開発および少量アプリケーション向けに半自動Solstice LTも提供している。