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Hanwha、PERC太陽電池製造に3D-Micromacを選択

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December, 14, 2017, San Jose--3D-Micromac AGは、同社のmicroCELL OTFレーザシステム3台を中国江蘇省のHanwha SolarOne製造工場に導入したと発表した。
 3D-Micromacは、太陽電池、医療デバイスおよびエレクトロニクス市場向けにレーザマイクロマシニングとR2Rレーザシステムを供給する大手。
 今回の導入成功は、第4レーザシステムに継ぐものである。導入目的は、Hanwha SolarOneのアルミ裏面電界(Al-BSF)技術生産の高効率Passivated Emitter Rear Contact (PERC)太陽電池への変換サポート。
 PERC太陽電池は、標準太陽電池と比べて大幅に高レベルのエネルギー効率となる可能性がある。PERC太陽電池の製造プロセスにおける重要ステップは、レーザコンタクト開口部(LCO)である、ここでレーザアブレーションを使って太陽電池裏面の薄いパッシベーション層に穴あけを行う。このプロセスが太陽電池の電気損失を減らし、変換効率が約1%(絶対値)高くする。
 3D-Micromacは、この重要なステップにmicroCELL OTFレーザプラットフォームで対処する。これは、モノクリスタルおよびポリクリスタルシリコン太陽電池にとって、業界で実証済みの高生産性、低所有コストソリューションである。「迅速」であることを特徴としており、レーザプロセスは、ウエハが連続的に装置を通過する際に行われ、競合ブローチの動作にあるデッドサイクルをなくすことでスループットを高める。microCELL OTFは、シングルレーンシステムで一時間に4000ウエハ(wph)を超えるスループットを達成しており、デュアルレーンシステムでは8000wphを超える。
 microCELL OTFのもう一つの独自のセールスポイントは、非接触ウエハハンドリングである。ウエハは、処理中にエアクッションで保持されるので、表面欠陥やマイクロクラックが減少または除去され、歩留まりを最大化できる。機械的なウエハハンドリングでは、表面欠陥やマイクロクラックの発生可能性が増加し、継続プロセスステップ中に余計なウエハダメージとなり得る。