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CCD-in-CMOSベース世界初のマルチスペクトルTDI画像センサ

February, 9, 2017, San Francisco--国際会議SPIE フォトニクス・ウエスト(Photonics West)で、Imecは、CCD-in-CMOS技術に基づく高性能マルチスペクトルTDI(移動積算)イメージャのプロトタイプを展示した。高感度と記録的な高速度(300kHzまで)により、この次世代TDIイメージャはリモートセンシング、ライフサイエンス、マシンビジョンなどのハイエンドアプリケーションがターゲット。特殊イメージャはフルカスタム設計、プロトタイプTDIセンサ、評価カメラなど、さまざまなビジネスモデルを通じて提供されている。
 TDIイメージング技術は、イメージャに対して直線的に動く対象の多重露光から生成される一群の電荷に依存している。従来、これはCCD技術で行っていた。CCDピクセルの電荷移動が、動くシーンと同期したノイズレス統合と移動になるからである。CCD TDIピクセルとCMOS読み出しを統合実装することでImecは1つのチップに両者の最高機能を統合した。低ノイズのTDI性能、低消費電力、高速で複雑な回路読み出しのオンチップ統合である。
 Imecは、1つのCMOS適合フローでセンサを製造するので、簡素な、コスト効果の高いソリューションとなる。裏面入射技術を利用することで光に触れるエリアを最大化し、センサの光感度が向上する。TDIイメージング性能向上のために、TDI CCD-in-CMOS技術をマルチスペクトル、RGBカラーフィルタと統合している。これはウエファレベルで加工でき、あるいはフィルタ・オン・グラスも利用可能である。
 Imecは、CCD-in-CMOSTDI技術を様々なビジネスモデルで提供する。フルカスタマイズ設計から、imecのプロトタイプTDIセンサおよび評価カメラの提供までの範囲である。プロトタイプTDIセンサが使用するフォーマットは、CCDアレイ(バンド)当たり4096コラム、256ステージ。7スペクトルフィルタを付加できる7-バンドバージョンとともに、1 CCDアレイのバージョンも提供可能。プロトタイプは、CMOSドライバと読み出し回路を統合している。