サブナノ秒レーザによる経済的な高精密加工

半導体製造、ディスプレイ装置、マイクロ加工処理、バイオ医療などの多くの業界で材料をより微細で精密に加工する技術が進行しつつあります。これらの応用技術の中でもっとも要求が高いものは、ピコ秒領域のパルス幅を持つレーザです。パルス幅が600 ピコ秒レンジ(サブナノ秒)の比較的複雑でないレーザ光源は、コスト上の制約を満たす一方で、用途によっては要求する加工精度に到達する例がでてきています。本稿では、この種の結果を得ることができるレーザ技術について検証し、現在の応用技術について説明します。