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短パルスファイバレーザ、20µmチップサイズでテーパーフリーで穴開け

January, 19, 2018, Tucson--AdValue PHotonicsのファイバレーザの動作特性により、並ぶもののない穴の品質と加工速度でガラス穴開けが可能になった。透明なガラス材料で、高精度ゼロテーパー、真っ直ぐな内壁の穴が、20µm以下のチップサイズで開けることができた。AdValueは、レーザパラメータと材料加工制御の独自の組合せになり、以前には不可能だったコスト効率のよいソリューションを実現した。
 ガラスおよび同じような透明材料で精密なゼロテーパー穴に対する要求が強まっている。レーザパラメータとプロセス展開の注意深い選択により、AdValue PHotonicsは、ゼロテーパーと高速加工速度を維持しながら,穴品質を改善することができた。複雑なビーム位置決めシステムを使用しないので、投資コストとランニングコストを最小限にとどめることができる。
 AdValue PHotonicsの完全ファイバベースEVERSTpico 1µmは、パルス幅50ps、繰り返しレート1MHzでパルスエネルギー50µJ、M2は1.3以下である。レーザパラメータのこの独自の組合せにより、同社アプリケーションラボで実証したように、20µm以下のチップサイズでゼロテーパーホールの高速穴開けが可能になる。
 従来のレーザ穴開け加工は、一般にはテーパー状の穴になる。5軸以上の複雑なビーム位置決めシステムを使ってレーザビームの入口角と穴開け動作とを動的に同期し調整することでテーパーを最小化する。このタイプのシステムは高価であり、アライメントやメンテナンスが難しい。
 透明材料で、ゼロテーパーホールを違う種類の穴開けプロセスを用いて達成可能である、ここどは従来のコスト効果の優れたガルバノスキャンヘッドを用いる。このプロセスのために選択するレーザ光源は、周波数逓倍グリーンDPSSレーザで、パルス幅は数10ナノ秒(ns)の範囲、パルスエネルギーは数100µJ、チップサイズは150~200µmとなる。
 20µmオーダーのチップサイズは、ピコ秒(ps)レーザを必要とする、一方でゼロテーパー仕様は本来、ナノ秒パルス幅のグリーンDPSSのために開発された同じプロセスを必要とする。AdValue PHotonicsは、EVERSTpico 1µmピコ秒レーザをゼロテーパー穴開け加工に適用することに成功した。20µm以下のチップサイズでのゼロテーパーホールは、様々なタイプのガラスやサファイアにおいて高速加工で達成された。そのレーザ独自の仕様設定によりEVERSTpico 1µmは、このプロセスのための理想的な選択となる。
(詳細は、www.advaluephotonics.com)