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ギガフォトン、新型KrFエキシマレーザー評価開始

December, 12, 2016, 小山市--半導体リソグラフィ光源の主要メーカー、ギガフォトンは、自社新ブランド“GIGANEX”シリーズの一環として、同社が創業以来培ったKrF技術を活かしたアニール向け新型KrFエキシマレーザの開発に成功し、11月にはパネルメーカーの量産ラインにて評価を開始した。
 このKrFエキシマレーザは600Wの高出力仕様であり、大型パネルの高画質化への需要が高まる国内外のパネルメーカーからアニール用光源として大きな期待を寄せられている。ギガフォトンは、このKrFエキシマレーザの量産機を2017年夏に出荷することを目指している。
 ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの都丸仁氏は、「当社が開発する、新型KrFエキシマレーザが、“GIGANEX”シリーズのラインナップに加わり、より多様なユーザーのニーズに応えることができると期待している。“GIGANEX”シリーズは今後もFPD業界を始め様々な分野において価値あるソリューションを提供していく」とコメントしている。